CCD
电荷耦合器件（Charger Coupled Device，缩写为CCD ） ，硅基光敏元件的响应范围在短波近红外区域 。
PDA
二极管阵列（Photodiode Array，缩写为PDA）.光电二极管阵列是由多个二极管单元（象素）组成的阵列。当信号光照射到光电二极管上时，光信号就会转换成电信号。
狭缝
光源入口。狭缝面积影响通过的光强度。狭缝宽度影响光学分辨率。
暗电流
未打开光谱仪激发光源时，感光器件接收到的光电信号。主要影响因素有温度，电子辐射等。
分辨率
光学分辨率定义为光谱仪可以分开的最小波长差。要把两个光谱线分开至少要把它们成象到探测器的两个相临象元上。分辨率依赖于光栅的分辨本领、系统的有效焦长、设定的狭缝宽度、系统的光学像差以及其它参数。
光谱仪分辨率可近似如下度量： R∝ M·F/W。其中M为光栅线数 ,F为谱仪焦距, W为狭缝宽度。
色散
光谱仪的色散决定其分开波长的能力。光谱仪的倒线色散可计算得到：沿光谱仪的焦平面改变距离χ引起波长λ的变化，即： Δλ/Δχ=dcosβ/mF。其中d、β、F分别是光栅刻槽的间距、衍射角和系统的有效焦距，m为衍射级次。
光栅
光栅作为重要的分光器件，它的选择与性能直接影响整个系统性能。光栅分为刻划光栅、复制光栅、全息光栅等。
带宽
带宽是不考虑光学像差、衍射、狭缝高度、扫描方法、检测器像素宽度等因素，在给定波长从光谱仪输出的波长宽度。它是倒线色散和狭缝宽度的乘积。
波长精度、重复性和准确度
波长精度是光谱仪确定波长的刻度等级，单位为nm。通常，波长精度随波长变化。
波长重复性是光谱仪返回原波长的能力。这体现了波长驱动机械和整个仪器的稳定性。
波长准确度是光谱仪设定波长与实际波长的差值。
F/#
F/#定义为光谱仪准直凹面反射镜的直径与焦距的比值。光通过效率与F/#的平方成反比，F/#愈小，光通过率愈高。