死机程序错误，一般刚开始使用的光纤光谱仪如果出现这类问题的话，极有可能是通讯线接触不良。新仪器电脑出现死机，程序错误、黑屏、分析软件的START状态不对，都有可能是通讯线接触不良造成的解决的方法也很简单，只需要将此为通讯线接触不良，重新连接即可。
排气不畅引发的故障，光纤光谱仪排气管路堵塞，火花室下部的弯头内有异物，过滤器入口端有异物。如果设备的内部有异物，将会引起排气不畅。要定期更换排气管，要更换透明的塑料管，定期对排气管路进行吹扫。
温度偏高故障，光纤光谱仪的温度偏高，多半是风扇出现了问题。如果是风扇出现问题，就要及时的进行更换。
真空值下降快故障，真空值也是光纤光谱仪一个重要的参数，如果真空值下降过快就证明仪器出现了故障。可以通过检查真空室真空盖密封性，更换密封圈来解决故障。
光强值下降，仪器的光强值下降下降的话，将会对设备造成非常大的影响。导致这个现象的原因是透镜脏、入射狭缝污染光纤老化。可以擦拭透镜，清理狭缝，更换光纤来进行解决。