故障1：真空泵不启动的故障
原因及处理：泵油的粘度不好，型号不对，其次，温度对泵油也有影响，尤其在季节交替变化时尤为明显，特别是当泵长时间不启动时会引起负高压丢失，这种情况就比较严重了，因为，要再次抽真空需要10多个小时，对于快节奏的生产势必会造成很大的损失的，所以尽量避免负高压丢失的情况发生，尤其是当泵不自动启动时一定要手动按动泵电机处的绿色开关，如不启动，应检查一下，分析软件中的泵运行状态的信号是否处于ON的状态，如果是OFF应等待直到变为ON再去手动按开关，另外，到了冬天室内温度不要太低，最低也应保持在15度以上，对于泵油的型号，泵不同，油就不同，一定要确保泵和油的型号要一致，油时间长了，如果发黄比较浑浊，就应该考虑换油了。当真空度太好的话，泵启动也很困难，因此需要对真空室盖板的内六角螺栓进行调节，以增加泵的机械效率。经验证，利用此法会使泵的启动故障改善很多。
故障2：负高压突然消失
由于真空值长时间上不去，导致负高压消失，
处理方法：将控制箱的第二个地线进行拔插反复试几次就好了。如果仍然不行就考虑重启仪器了。
故障3：碳异常偏高
氩气不纯，需要换气，先用高纯氩气试一下。
故障4 排氩管路堵塞
现象：出现样品上跳，无法分析
原因：排氩管路内部有脏物
处理：清理氩气过滤器 排气管
故障5 光强值偏低
原因分析：
　　1、透镜脏
　　2、入射狭缝污染
　　3、光纤老化
　　处理办法：擦拭透镜，清理狭缝，更换光纤。
　　经验总结：光谱仪用久了，激发台会因点打的太多了，出现放电漏气现象，导致光强上不去，需要经常清理激发台板及火花室。

故障6 激发声音异常
原因：分析时激发台板小孔没盖严
处理：样品为全部将激发小孔盖上
故障7 仪器真空室漏气
原因：真空室盖上的不均匀 激发台板有漏气的地方
处理：充气时将压力和流量调的大一些，重新拆安激发台板
故障8 仪器分析数据不稳定 仪器稳定下降慢 仪器后盖风扇转动有故障
原因分析：仪器真空室温度控制不好，要检查仪器后盖风扇，必要时更换风扇。
处理：更换同型号的仪器后盖风扇。
故障9 仪器电脑出现死机，程序错误、黑屏、分析软件的START状态不对有时变为黄色不动，有时虽然动但是变为红色，
原因分析：仪器与电脑的通讯错误